德国马尔轮廓测量仪 Mahr MarSurf VD 280 系列，MarSurf VD 有一个独特的功能，就是使用一个系统即可完成高精度的轮廓和粗糙度测量。只需更换 粗糙度测量系统，即可完成高度准确的粗糙度测量。

分辨率

带粗糙度测头系统：

测量范围 1：2.0 nm

测量范围 2：0.2 nm

带轮廓测头系统：

≤ 6 nm（使用 210 mm 测杆）

扫描长度开始（X 方向）

0.1 mm

扫描长度末尾（X 方向）

280 mm

扫描长度 (Lt)

0.1 - 280 mm

导块偏差

带粗糙度测头系统：

0.07 µm / 20 mm

0.35 µm / 60 mm

0.4 µm / 140 mm

测量力 (N)

带粗糙度测头系统：

0.7 mN

4 mN 至 30 mN，可通过软件调整

测量速度

0.02 mm/s 到 10 mm/s

Positioning speed X-axis min.

0.02 mm/s

positioning speed X-axis max.

200 mm/s

定位速度 (mm/s)，X 轴

0.02 - 200 mm/s

Positioning speed Z-axis

0.02 - 50 mm/s

Positioning speed Z axis max.

50 mm/s

Positioning speed Z-axis min.

0.02 mm/s

测头

粗糙度测头系统（无导块）

轮廓测头系统

测杆长度

带粗糙度测头系统：

45 mm 至 135 mm

带轮廓测头系统：

210 mm 至 490 mm

重量（毛重）

200 KG

Workpiece weight max.

90 kg

其他

manuelle TY

测量范围 mm

带粗糙度测头系统

500 µm (±250 µm)，用于 45 mm 测杆长度

1500 µm (±750 µm)，用于 135 mm 测杆长度

带轮廓测头系统

70 mm，测杆长 350 mm

≤100 mm，测杆长 490 mm